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产品名称:Mini-ODS
所属品牌:Teledyne API
产品简述
Mini-ODS是一种创新的臭氧输送系统,设计用于生产高浓度的臭氧,适用于需要非常高的臭氧浓度21%w / w,320 g // Nm3或更高的各种晶片处理应用。
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Mini-ODS是一种创新的臭氧输送系统,设计用于生产高浓度的臭氧,适用于需要非常高的臭氧浓度21%w / w,320 g // Nm3或更高的各种晶片处理应用。它是一个非常紧凑但完整的臭氧输送系统,包括高纯度臭氧发生器,高浓度监测器,功能强大的基于微处理器的控制器以及所有必需的调节器和气动装置,使Mini-ODS成为一套全套解决方案。


Mini-ODS的小巧外形和轻便的机身结合了便携式的便利性和无与伦比的性能,使其优于市场上的其他臭氧系统。该系统非常易于使用,并且可以根据任何独特的要求进行自定义配置。 Mini-ODS可扩展以支持额外的臭氧发生器运行需要不同水平的臭氧浓度和流量的独立过程。可选地,Mini-ODS可以连接到湿法工艺中通常需要的溶解臭氧分析仪。它也可以与Teledyne的NIST可溯源紫外吸收型多通道臭氧泄漏探测器和任何Teledyne的臭氧破坏系统联锁。这使得Mini-ODS成为市场上唯一一家供应商的唯一交钥匙解决方案。

紧凑的设计
产生超过21%w / w的O3浓度
19“机架式安装
低拥有成本/无消耗品
完全集成的解决方案
高纯度臭氧发生器
高浓度臭氧分析仪
闭环伺服控制器
氧气MFC
氮气MFC
背压调节器
电 - 气动转向阀

最大臭氧浓度:330g/Nm3
远程控制
通过前面板或自动远程控制
通过SCI控制器远程关闭或伺服控制
原料气
氧气等级:6个9或更高,
氮级:5个9或更高(仅0.5%)
进料气体流速:0.5-20slpm
运行条件
臭氧出口压力:15至40 psig(通常设定为30 psig)
工作环境温度:5-35摄氏度
冷却水温度:18摄氏度+- 3摄氏度(不要低于当地露点)
冷却水流量:1 to 1.2 gpm at 60 psig
冷却水质量:任何晶圆厂级别
电源(VAC):208/240 VAC单相或三相
频率:50或60Hz
电流:15 amps Breaker 10 Amps RMS

物理规格
尺寸(宽x高x深):19“x 13.7”18“(48厘米x27厘米x45厘米)