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产品名称:ODS
所属品牌:Teledyne API
产品简述
ODS系列是一款臭氧气体输送系统,可根据需要提供高纯度臭氧气体,非常适合要求最严格的半导体湿法或干式晶圆处理应用
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ODS系列是一款臭氧气体输送系统,可根据需要提供高纯度臭氧气体,非常适合要求最严格的半导体湿法或干式晶圆处理应用。这种高度可靠的消耗臭氧层物质系统非常适用于需要在各种流量范围内高浓度臭氧的应用。消耗臭氧层物质系统的设计可定制配置,以提供最多4条连续臭氧气体输出管线。凭借其内置的先进的微处理器控制器,该控制器旨在与市场上的大多数半导体晶圆处理工具接口。臭氧根据需要通过作为ODS系统子集的闭环控制子系统远程精确生产。最重要的是,消耗臭氧层物质系统的设计具有非常严格的安全准则,并且包括一个多通道臭氧泄漏检测器,在发生泄漏时将发生器联锁。此外,系统进入一个耗尽的外壳,所有的过程气体管线和配件都是内置的,因此双重安装。最后,这个ODS系统非常易于安装和操作。
五通道臭氧泄漏检测仪用于监测ODS系统和工具周围的任何泄漏
冷却水泄漏检测器
低流量冷却水检测
Magnehelic开关检测排气压力损失
最多支持4个独立的伺服控制回路
模拟和/或数字接口
一个(可选的)臭氧破坏模块可以消除多余的臭氧
过程不需要臭氧
安装在脚轮上的19英寸机架排气罩中


浓度:高达350 g / NM3
零噪音:可调节为30 PSIA
高点噪音:多达4个独立的伺服控制回路
可检测下限:紫外线吸收分析仪,范围从0到400 g / Nm3
臭氧泄漏检测:五通道紫外吸收分析仪
原料气:高品级氧气加一点氮气

臭氧过程输出通道:最多4个
机箱尺寸:72 x 24 x 31“(1844 x 615 x 804毫米)
冷却水:17℃至20℃(63℉至68℉)